匀胶、显影处理系统-Auto Track

 浏览：0 更新时间：2020-08-11

匀胶、显影处理系统-Auto Track

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产品特点：

同一设备实现2"-8"晶圆兼容.

涂胶、显影模块自带暂停/恢复功能.

同片盒内每个硅片可分别制定工艺运行.

干湿分离，电液分隔.

维护省力、简便.

设备和各工位全封闭设计，不受外环境干扰可独立增加层流罩，提升小环境洁净度.